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將備用石英玻璃坨放在涂鎢粉并經(jīng)高溫焙燒過的石墨坩堝中，填裝真空加壓爐內(nèi)密閉爐體，在真空（160Pa）升溫，升溫過程不同于水晶原料電熔法生產(chǎn)石英玻璃“兩急一緩”的升溫工藝，在350℃以下升溫不可過快，因在低溫區(qū)升溫過快，石英玻璃坨內(nèi)外溫差大，應力急劇增大，會造成石英玻璃的炸裂——俗稱“冷炸”。待石英玻璃坨內(nèi)外溫度均勻后（大約30min）可均勻地快速升溫，直到玻璃軟化變形，開始保溫，30min后關(guān)閉真空泵充入N₂加壓，壓力4MPa左右，加壓保溫40~60min（視爐內(nèi)玻璃的均化程度而定），待確認已好后徐徐降溫，降溫速度不可過快，以免玻璃產(chǎn)生過大的應力造成玻璃的炸裂。

通常情況下，石英玻璃坨經(jīng)過一次均化后，坨中原有的為熔SiO₂微粒氣泡即消失，但通過對其羥基分布測試，分布不均的現(xiàn)象尚未完全改善，根據(jù)使用的具體要求，有時需進行兩次以上的均化處理，但需將前一次的石英坨在裝爐時將方向改變180°，即把前一次的上表面作為下一次的下表面，這樣由于石英玻璃本身在軟化方向上經(jīng)過多次的變化就使石英玻璃內(nèi)部大的完全均化。一般情況下，合成石英玻璃需進行兩次貨以上的均化處理過程才能達到充分均化。